高精度動作のための連鎖状設計ピエゾ電気スティック-スリップアクチュエータの動的分析

高精度で長ストロークのナノスケール動作制御の要求を満たす、連鎖状コンプライアントメカニズムを持つ新しい非対称構造のピエゾ電気スティック-スリップアクチュエータ（PSSA）が設計されました。非対称連鎖状コンプライアントメカニズムとPSSAの組み合わせ構造は、コンプライアンスを強化するために利用されています。後方変位は、連鎖状ピエゾ電気スティック-スリップアクチュエータ（CPSSA）によって抑制されます。CPSSAは、単段変位を大きくし、出力性能を向上させるために設計されています。その後、有限要素法が構造のパラメトリック設計計算に用いられます。そして、構造の動的剛性行列分析が示されます。最後に、実験システムが構築され、一連のテストデータが提示されます。実験結果は、アクチュエータのピーク出力速度が19.01 mm/sであり、水平荷重能力が3.8 N、垂直荷重能力が2.46 N、解像度は56 nmであることを示しています。したがって、連鎖状ピエゾ電気スティック-スリップアクチュエータ（CPSSA）の有効性が確認されます。