최신 슬리핑 절삭을 이용한 직선코 다이아몬드 공구로 아연 셀레나이드 구형 표면의 초정밀 터닝에 대한 초음파 보조 연구

Minghan Chen

Xiangyu Zhou

Shibo Zhang

Precision Engineering

Hong Kong Polytechnic University

Southern University of Science and Technology

Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (China)