真空紫外光辉等离子体射流

Key Points

• 本研究旨在探讨热等离子体的发射参数与电子和离子的光重组过程之间的关系。
• 通过特定的放电方案分析气体放电氦等离子体。
• 研究了通过孔口发射的等离子体的中心部分。
• 应用推导出的关系进行发射参数分析。
• 确定了等离子体是一个有效的真空紫外辐射源。
• 演示了该光源在光刻中的潜在应用。