衍射光栅是光谱仪器中的核心光学元件,与普通光栅相比,宽波段光栅能够在较宽的波段范围内满足光谱分析需求。本文综述了宽波段光栅的国内外研究进展,总结了复杂槽形光栅、分区光栅、中阶梯光栅以及多层介质光栅四类宽波段光栅的特点。其中,复杂槽形光栅的光谱连续性高,衍射效率曲线稳定,但其质量受加工精度影响较大;分区光栅的设计灵活度高,加工工艺成熟,但子区域之间存在相位错配与衍射场差异问题,易被杂散光干扰;中阶梯光栅能在高衍射级次下实现宽波段高分辨率响应,但其精度易受制作设备影响且制作难度大;多层介质光栅结构设计灵活、适应性强,但对材料选择与多层膜厚控制要求高。最后,展望了宽波段闪耀光栅的发展方向,为后续相关研究提供了依据。
Chen et al. (Wed,) studied this question.