Im Rahmen des LEAPS-Innov-Pilotprojekts haben das ESRF zusammen mit ALBA, Soleil, PTB und HZB ein Positionsmesssystem entwickelt, das auf fasergekoppelten Laserinterferometern und Strahlsteuerungsspiegeln basiert und die Position des zu messenden Objekts dank eines geschlossenen Regelungssystems verfolgt. Das globale Ziel ist es, die Position von Objekten zu messen, die sich in einer Ebene entlang von 3 Freiheitsgraden (2 Translationen und einer Rotation) bewegen, mit einem typischen Bereich von wenigen Millimetern und einigen Dutzend Grad und einer Wiederholgenauigkeit von 10 Nanometern. Dieses System könnte typischerweise zur Messung der Probenposition in experimentellen Stationen verwendet werden. Das Projekt wurde in 2 Teile unterteilt, wobei der erste Teil der Charakterisierung der periodischen Nichtlinearitäten kommerziell erhältlicher fasergekoppelter Interferometer durch alle Projektpartner gewidmet war und fortgesetzt wurde mit der Konstruktion eines Prototypsystems mit 3 Achsen am ESRF. Ich werde die Ergebnisse der Charakterisierung der Interferometer, das Design der mechanischen, optischen und Regelungssysteme vorstellen, die zur Implementierung dieses Prototyps verwendet wurden, und die erzielten experimentellen Ergebnisse präsentieren.
Villar et al. (Thu,) haben diese Frage untersucht.