導電性かつ透明なペロブスカイト酸化物の工業的移転に向けて：低コスト基板への集積と長期安定性の向上

相関金属における光学的透明性の最近の発見は、次世代の透明導電性酸化物の開発に新たな展望を開きました。これらの材料の基本的特性の理解には多大な努力が払われている一方で、その工業的移転に関する研究は比較的少数です。本論文はモデル材料としてSrVO3を用いてこの道を探ります。ガラスやシリコンなどの工業用基板への堆積を実現し、様々な応用の道を開きました。ガラス基板の特性がどのように影響するかを調査した結果、熱応力が膜の機能特性に著しい影響を与えることが明らかとなりました。二元酸化物を基とした多様なシード層の予備的検討により、TiO2がバルク材料に近いキャリア特性を有するSrVO3の電気的特性を最も良好に示すことが確認されました。膜の安定性は異なる温度での人工経時試験により評価され、酸素含有大気に対する脆弱性が示されました。特性を維持するために複数の無定形保護層を試し、アルミニウム系層が機能特性の劣化防止に最も効果的であることが特定されました。これらの結果は、透明導電性ペロブスカイト酸化物の工業的移転に向けた重要な一歩を示しています。