これらの技術が今後のパッケージング設計・プロセス開発に 果たす役割を明確化し,表面技術分野における今後の課題と 展望を提示する。 2 .チップレット実装を支える要素技術 (基礎編) 2.1 マイクロバンプ接合技術 チップレット間の接続には,従来よりマイクロバンプ (micro bump) によるフリップチップ実装が広く用いられてきた。一 般に Cu ピラー上に Sn 系はんだを形成し,熱圧着によって接 合する構造が採られる。バンプピッチは 40~100 μm 程度が主 流であり,通信帯域に対して十分なインターコネクト性能を 確保できるが,実装密度や寄生容量,熱伝導の観点では限界 が指摘されている。近年ではピッチ 20 μm 以下の超微細接 合も開発されているが,バンプのアライメント精度,ボイド 半導体チップレットの基礎と最先端技術 高
Takeshi TAKAGI (2025) studied this question.