光学薄膜应力会严重影响光学器件的表面面形,研究多层薄膜残余应力是高面形精度多层薄膜器件研制的核心。基于膜系结构和工艺过程重构周期性多层膜结构,建立了周期性多层膜残余应力模型,此模型与中心波长λ0、单周期应力σC、周期数m及周期间应力σC|C有关。设计了中心波长λ0=900 nm的周期性多层膜,使用应力模型估测残余应力,沉积该样片并通过基底形变法测试残余应力。测试结果表明,使用应力模型估测的残余应力与实测残余应力的误差约为30%,证明建立的周期性多层膜应力模型具有较高的精确度,适用于周期性多层膜应力估测。
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Ying DONG
西安应用光学研究所,陕西 西安 710065
Yingqi LIU
Journal of Applied Optics
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DONG et al. (Thu,) studied this question.
www.synapsesocial.com/papers/69a760a2c6e9836116a2d92d — DOI: https://doi.org/10.5768/jao202647.0101009